臭氧浓度在2-4ppm（百万分之2-4）时，大肠杆菌（8404），金色葡萄球菌（ATTC6533），枯草杆菌芽胞（ATCC9372），空气混合菌，乙肝病毒等灭菌率均达到95-100%。
用臭氧浓度为4mg/L处理污水5-20分钟后：COD（还原性有机物的污染程度）降低40%；BOD（有机物的污染程度）降低60-70%；致癌物质 降低80%；色度 降低60%。
常规情况下，当空气中臭氧浓度达到0.5ppm时，可杀死空气中的大部分（70%左右）的细菌和病毒；当空气中臭氧浓度达到0.6ppm时，空气中的细菌和病毒的灭菌率在99%以上。
目前，医院手术室、换药室等特殊区域空气消毒普遍使用甲醛熏蒸协同紫外线辐射灭菌法。 前者空气消毒不彻底，后者穿透力弱，且对人体有一定的危害。采用臭氧于手术室、换药室等特殊区域空气消毒，效果较好，臭氧空气消毒效果优于甲醛协同紫外线空气消毒。
两种方法行手术室空气消毒后细菌培养结果 cfu/m3
消毒方法 n 菌落数
臭氧法 21 44.86±72.68
甲醛协同紫外线法 21 305.52±453.61
表3 两种方法行换药室空气消毒后细菌培养结果 cfu/m3
消毒方法 n 菌落数
臭氧法 14 179.43±193.34
甲醛协同紫外线法 14 235.50±3.61
臭氧作为强氧化剂，对橡胶制品有老化作用。故使用臭氧空气消毒时应取走室内橡胶制品。同时严格执行操作规程，先将室内地面拖湿，使相对湿度大于60%，门窗要密闭，人员勿进入，待停机30min后，即臭氧还原为氧气后方可进入。
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