臭氧(O3)是氧的同素异形体，氧的高能态存在形式。又名活氧、三子氧、超氧、富氧，有特殊臭味，无色，极不稳定（在30℃空气中的半衰期为20分钟），是一种强氧化剂。它不便于存储，只能现场发生，现场使用。臭氧(03)在常温下，随时可分解还原成氧，当还原成氧气时，会有氧原子分离出来。这时的氧原子具有极强的氧化能力和分解能力。
自然界中的臭氧主要由雷电所产生，在医疗不发达的年代，瘟疫发生后，只要有雷雨到来，即会产生大量的臭氧，雷雨过后瘟疫随之减退，这就是雷电所产生的臭氧杀灭流行病菌的原理。这样的事例见诸于许多医史记载，它是"天赐的净化剂"。臭氧有效地杀灭自然界中的细菌、病毒，抑制其异常繁殖而保持了生态平衡。
人工生产臭氧的方法，主要通过电晕放电，产生高能电子分解氧分子(O2)，经高能电子碰撞聚合为(O3)。臭氧在灭菌、去污、漂白、除臭、分解化学物质的过程中最终还原成(O2)，不产生二次污染。
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