人类制造臭氧主要是通过模拟自然界产生臭氧的方法而来。
A、光化学法：
原理：光波中的紫外光会使氧分子分解并聚合为臭氧。光化学尘就是产生出波长λ=185nm(10-9m)的紫外光谱，这种光最容易被吸收而达到主生臭氧的效果。
优点：产生的臭氧纯度高，对湿度、温度不敏感，具有很好的重复性。
缺点：能耗较高。
依据光化学法：光子管（上海光辉臭氧研究所发明）
B、电化学法：
原理：利用直流电源电解含氧电解质产生臭氧气体。目前电解液多为酸盐类电解质或纯水。
优点：浓度高、成份纯净、水中溶解度高。
缺点 ：能量低、耗电量大。
依据电化学法：固体聚合物电解质膜复合电极电解臭氧发生器，专利号：Z193246255.3；
C、电晕放电法：
原理：模仿自然界雷电产生臭氧的方法，通过人为的变压电场在气体中产生离子体，使空气中的氧分子在离子体中反应，经碰撞合为分子。
优点：产量大。
缺点：会伴随有。
依据电晕放电法原理的发生器件：平行板、陶瓷片、电真空管等。
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